又一家光伏设备企业冲刺科创板，专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备

全球光伏

6月22日，江苏微导纳米科技股份有限公司（下称 “微导纳米”）冲刺科创板IPO获上交所受理，中信证券担任保荐机构。招股书显示，微导纳米以原子层沉积技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案。

目前，微导纳米已经在光伏领域验证了其核心技术对ALD设备产能的提升作用，并以期将相关技术特点推广至设备结构具备一定共通性的集成电路领域，在保证成膜质量符合客户工艺要求的同时，为客户提供低成本、高产能的解决方案，形成标志性竞争优势。

与此同时，微导纳米集成电路领域设备样机已开发完成并实现了Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2、ZnO等多种关键工艺材料的薄膜沉积验证，薄膜厚度均匀性等技术参数已经达到集成电路领域使用标准，但受限于生产环境与检测手段等因素，公司该产品在集成电路标准要求下的颗粒度等关键指标尚有待验证。

不过，随着公司集成电路高端装备产业化应用中心的落成，产品的生产环境与检测手段将大幅提升，有望突破技术壁垒，实现集成电路制造核心装备的国产化并打破国外厂商的市场垄断。微导纳米表示，项目建成后可进一步推动我国薄膜沉积设备的发展，实现高端装备国产化的战略目标，提高公司核心竞争力。

近年来，微导纳米经营业绩实现大幅增长。招股书显示，2017-2019年，微导纳米实现营业收入分别为0元、4191.06万元、21581.56万元。报告期内，微导纳米主营业务收入主要来自ALD设备。2018年和2019年，微导纳米来自于ALD设备的收入金额分别为3898.03万元和20194.69万元，占主营业务收入的比例分别为93.02%和93.59%。

据披露，微导纳米此次拟募集资金5亿元，在扣除发行费用后拟用于投建年产120台基于原子层沉积技术的光伏、柔性电子及半导体设备扩建项目、集成电路高端装备产业化应用中心项目、以及补充流动资金。

关于未来发展战略，微导纳米表示，公司以ALD技术为核心，在继续保持光伏领域的技术和市场优势的前提下，扩大在集成电路、柔性电子和其他新能源等领域关键装备产品，通过打造先进的ALD技术产业化研发中心，针对市场发展和需求开发专用于产业化的镀膜解决方案和产品，不断向产品横向及纵深发展。

同时，择机通过收购等方式，对核心技术上下游关键工艺进行技术整合，针对新兴产业形成一整套技术解决方案，力争成为全球微纳制造装备领导者。