在PECVD工序石墨舟参与生产到一定的次数后，都必须经过清洗、烘干、饱合等一系列的处理之后才能再次进行生产使用。 在现行的镀舟工艺中要使用硅片镀舟，需进行两次镀舟才能完成饱合的过程，详细步骤如下图。 结合下图，一次镀舟工艺的时间5410S≈89min，如果用硅片镀，刚要在两次镀舟之间增加等待时间和换片时间（如果连续使用同一组硅片镀两次，会使得硅片变成弯曲的废片，无法使用），再加上舟的放置时间及硅片约20分钟，共计约178+20 min，约3.3小时。 按正常一个班次8H进行计算，则一个班次的时间镀2－3次；如果一个班次12H，则一个班次的时间镀3－4次，那么是严重影响生产效率的。
我们因此考虑对镀舟工艺进行优化，提升工作效率，降低镀舟时间，实现一次镀舟并保证工艺。下面我们就结合镀舟步骤进行分析。
综合上图对各步骤的分析，我们考试对第4、5、6、10、11、12、13步骤进行优化。  下面我们对调整前后的工艺进行下对比： 
改后的时间约为6530S≈109min，比两次镀舟节约时间约89分钟。 在实验后我们初步将工艺定成这样，那么我们就看下在批量生产中的情况。 我们将同一批处理后的4000片硅片进行对比，一组2000片跟踪电参情况。 电池片转换效率对比分析表
通过电池片转换效率对比分析表，发现优化工艺后的电池片效率较稳定。 电池片具体参数对比表（以转换效率＞16.6为例）
通过电池片具体参数对比表，可以发现，优化后的工艺优于原工艺，可见工艺优化成功。 |
