硅片表面线痕测试仪

       对硅片表面的线痕进行轻松测量。该设备带专用控制器的高精度，高性能，操作简单，显示一目了然。
特点
■显示一目了然，操作简单： 配备高可见度7.5 英寸TFT LCD 屏幕。彩色图标显示、触控式面板，显示更清晰，操作简单。
■轻松定位： 使用专用控制器内置的操纵杆，轻松、快速地定位。小孔内侧的测量，需要对微小测头进行微调。利用手动手柄，实现轻松微调。
■轻松设置表测量条件： 利用配备的简单输入功能，可按照ISO/JIS 标准的绘图指令符号进行输入。以往非常麻烦的测量条件设置如今可轻松输入，从菜单上直接选取表面线痕的绘图指令符号即可。

技术参数: SV-2100
X 轴 (驱动部)
　 测量范围: 100mm
　 分辨率: 0.05μm
　 检测方法: 线性编码器
　 驱动速度: 0 - 40mm/s
　 测量速度: 0.02 - 5mm/s
　 移动方向: 向后
　 直线度: 0.15μm / 100mm Z2 轴 ( 立柱)
　 类型: 手动操作或电驱动
　 垂直移动: 350mm 或 550mm*
　 分辨率*: 1μm
　 检测方法*: 旋转编码器
　 驱动速度*: 0 - 20mm/s * 仅适于电驱动型
检测器
　 范围／分辨率: 800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm, 8μm / 0.0001μm
　 检测方法: 无轨／有轨测量
　 测力: 4mN 或 0.75mN (低测力型)
　 测针针尖: 金刚石、90o / 5μmR (60o / 2μmR: 低测力型)
　 导头曲率半径: 40mm
　 检测方法: 差动电感式
控制器
　 显示: 7.5" 带背光的TFT 彩显
　 打印机: 内置热敏打印机
　 放大倍率: 水平: X10 至 X500,000、自动 垂直: X0.5 至 X10,000、自动
　 驱动装置的控制: 通过操纵杆手动手柄的操作