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全光谱椭偏仪 国内最先进技术 与国外技术同步

发布者: 全光谱椭偏仪 | 发布时间: 2014-5-5 14:18| 查看数: 3393| 评论数: 0

测试供求
产品名称: 全光谱椭偏仪
公司名称: 系科光电
地区: 上海
公司网址: www.syscos.cn
本帖最后由 全光谱椭偏仪 于 2014-5-5 14:24 编辑

RISE -Zenith技术优势
1.RISE配置了高品质超消色差相位补偿系统,能够使Δ接近0°或180°时依然能够获得出色的原
始椭偏参数

2.RISE的氙灯光源强度优化系统能够自动根据实际测量需求选择合适的光强进行量测

3.绒面均具有一定的退偏效应,无论是具有米氏散射还是具有瑞利散射的绒面,RISE均能自动进
行退偏纠正

4.RISE能够自动逼近材料的布雷斯特角,以获得更为丰富的椭圆偏振光参量,进而获得更为准备
的测试精度

5.RISE的光谱采集系统采用背照式的CCD探测,同时能够在任何环境下保持零下15℃的低温环境,
具有极高信噪比

RISE 标准配置技术规格

波长320 – 1050nm (标准配置,最宽光谱范围可至190-1700nm)
Psi, Del精度0.001°、0.01° (90° 时50次测量标准差)
长期稳定性Tan = 0.001;Cos = 0.001(90°超过1小时的测量)
膜厚精度1 Å for 100 nm SiO2 on Si
折射率精度± 5x10-4 for 100 nm SiO2 on Si
厚度范围1nm-3000nm
光学结构PSCA 及PSA
高稳定度补偿器C;Cos=1 附近有较高精度
起偏器P、补偿器C、检偏器A的最佳位置自动跟踪、以及自校准功能
量测时间1S – 60S
光斑<<1 mm;≈200 μm (Microspot 技术)
灯源氙灯(寿命>1年)
光强控制光源强度自动优化系统
模块防酸碱载物台、氙灯模块隔热装置
光谱仪背照式CCD、-15℃真空制冷
驱动标准二轴驱动
分布2D Map(可选)
保护含USB Key
环境普通光学实验室环境,也可用于无尘室

RISE软件系统:Elli - Spec

界面含Operator Mode 及Engineer Mode
模块Measurement, Simulation, Regression
报告用户自定义格式自动生成Excel,Word或PDF报表
显示含椭偏参数三维模型显示
环境Windows
单位nm、ev
分析Ψ及Δ、Tanψ及CosΔ、α及β、Ψ only、Δ Only
单层或多层膜同时分析功能
模型Cauchy、Sellmeier,Drude,EMA等
各向异性材料建模,米勒矩阵建模
光谱测量自动消除光源光谱Peak
用户自定义分析波长范围及波长数目
含快速傅里叶变换(FFT)
含退偏纠正
回归分析计算
入射角度自动控制入射角度追踪最佳布鲁斯特角(7-90°,精度0.0002°)
数据库各种电介质、薄膜、晶体及非晶半导体、金属等的NK文件(数万种)
分布2D Map(可选)
自检90°自动校准;包括原始测试波形的自检
维护用于自动内部维护的源程序,检查部件是否在正常工作

RISE标准硬件配置

Ref Item Qty Unit
1 SE机构主体1 台
2 氙灯模组(Hamamastu,含5A直流电源及高压触发系统) 1 套
3 高温连接线及铁氟龙隔热装置1 套
4 光谱仪系统1 台
5 光纤1 根
6 Z-line 载物台1 台
7 马达控制卡(ASIC-Base) 1 张
8 液晶显示器1 台
9 原装Advantech工业控制主机1 台
10 二轴驱动器控制系统(Sanyo Motor & Parker Driver) 6 套
11 光强度自动调节系统1 套
12 α-BBO Glan-Thompson棱镜2 片
13 消色差补偿系统1 片
14 线性光密度滤光系统1 片
15 自动角度变化系统(7-90°,精度0.0002°) 1 套
16 标准片(SiO2@1100A) 1 张
17 标准操作台1 套
18 正版Window7操作系统1 张
19 Elli-Spec软体安装光碟(含软件Key) 1 套
20 安装及操作手册1 套
联系人:黄先生 13805149298  QQ 260179692







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