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四探针技术测量薄层电阻的原理及应用

发布者: echo | 发布时间: 2013-4-24 11:05| 查看数: 1808| 评论数: 0

本文对四探针技术测试薄膜层电阻的原理进行了综述，重点分析了常规直线四探针法、改进范德堡法和斜置式方形Rymaszewski法的测试原理，并应用斜置式Rymaszewski 法研制成新型的四探针测试仪，利用该仪器对样品进行了微区（300μm×300μm）薄层电阻测量，做出了样品的电阻率等值线图，为提高晶锭的质量提供了重要参考。

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