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数字化智能四探针测试仪的研制

发布者: echo | 发布时间: 2013-4-26 15:31| 查看数: 1751| 评论数: 0

将传统直流四探针测试仪与嵌入式系统相结合，研制出数字化智能四探针测试仪。该仪器可以自动识别被测样品电阻率，并自动切换到最佳档位，操作简便工作效率高，具有一定的实用和开发价值。
直流四探针测试法是微电子行业常用的测量材料电阻率的方法，通过测量材料的电阻率可以得到材料的掺杂浓度等重要信息。因此，在微电子工业中四探针测试仪一直是十分重要的测量仪器。

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