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磷墨SE电池工艺流程 墨SE电池工艺流程如图3所示,其相对于传统电池工艺流程,仅在清洗制绒和扩散之间增加一道丝网印刷磷墨的步骤。图4左展示了印有磷墨的硅片在扩散前的形态,线形清晰可见,磷墨副栅线的宽度视印刷机的套印精度而定,一般在60~300μm,选择性扩散为一站式扩散,传统管式高温炉管可满足要求。磷线下的结深可达0.5~1μm,这种深结可使得正面银浆的烧结窗口被放大,从而降低了对扩散、烧结与银浆的匹配性要求。采用PECVD沉积SiNx膜之后,印过磷线的区域轻微泛白,肉眼可辨,如图4右所示 图3:磷墨SE工艺流程示意图 图4:扩散前的硅片(左)和镀SiNx膜后的硅片(右) 优点之一:开压高,填充高 优点之二:金属化窗口变大 |