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LSCM在晶体硅太阳能电池生产和开发中的应用

2014-1-3 11:44| 发布者: echo| 查看: 9124| 评论: 0|来自: solarzoom

摘要: 摘要：为了满足快速、精确的测量分析，将激光扫描共聚焦显微镜（LSCM, Laser Scanning Confocal Microscope）引入的晶硅电池开发和生产过程中，本文阐述了激光扫描共聚焦显微镜的测量原理以及在电池各环节测量中的 ...

　　图4 金刚线切割太阳能级硅片表面2D和3D形貌

　　2.1 硅片表面织构化的测量

　　图5 单晶硅片表面陷光结构2D和3D形貌

　

　　图6 多晶硅片表面陷光结构2D和3D形貌

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