图8 太阳能电池栅线2D和3D形貌

　　LSCM快速无损测量，更适合监控的需要，目前唯一的不足是还需要人工选点，不能进行测量程序的二次开发实现大面积、多点自动测量，人工选点就存在一定的局限性和统计偏差。

　　2.4 制程异常判断

　　除了上述几个电池生产环节监控的应用，LSCM作为高精度外观、形貌分析技术，通过与硅片或电池参数、红外热成像（IR，infra-red thermal imaging）[8]、光/电致发光（PL/EL，Photoluminescence/Electroluminescence）技术进行比对或联用，还可以分析解决制程的很多实际问题。

　　图9所示为硅片表面吸附透明杂质，利用肉眼很难观察到，但是在LSCM下就可以发现吸附杂质的区域较正常区域有一定的颜色差异。可惜LSCM不能像SEM一样配置能谱仪进行成分测量，所以只能通过杂质的形态、形成环境和化学反应推测其成分。

　　图10 残缺的银栅线外貌