制定周期：四探针二级标片制定周期为一个月/次； 制定片数：根据所需要的硅片类型（S5L、S6C、M6P、Z6P）每次制作6pcs。 制作流程： 1. 从生产线上选择外观正常的扩散后硅片。 2. 测试5点取其平均值，选择接近方阻目标值的硅片留做标片， 根据实际需要硅片类型，同一类型各取6pcs。 3. 在氮气柜中放置一周（使硅片的方阻更稳定）。 4. 标定方阻数据： I. 做5点测试，硅片放置不动，测试2遍，再旋转90°测 试2遍，共旋转5次测试10遍数据； II. 分别求出每遍测试均值AVEi和10遍测试总均值AVE均； III. 从10组数据中取2组均值AVEi与总均值AVE均差值最小的数据作为标片数据。 5. 将标片的标定数据保存至相关表格，并对标片进行标号以作 区分。 标片使用周期：每片二级标片的使用周期为一周。 注：在标片使用周期内，若四探针波动正常，正常更换；若测试值突高、突低或者持续在目标值之上或者之下，需要测试其余5片标片，并针对测试值情况对四探针做出调整。 |
