如果探针有良好的机械刚性，在接触样品时不弯曲也不左右移动，即针尖不动，针距不变，这样探针系数就是一个固定常数。实际上由于探针加工问题，探针的机械位置会发生变化，即探针在未接触样品前的针距与接触样品后的针距，由于针尖的无规则运动即游移而发生变化，因而引起探针系数发生变化，影响了测量结果的正确性和重复性。

    探针游移度定义为：

(1-1)
式中 ----探针与样品接触后的针距重复多次测量的平均值；
----平均值s与每次测量值的差的绝对值的平均值。

测试步骤如下：

1、准备好一块具有平整抛光面的硅样品，使探针头以正常压力在其表面上压触，探针头抬起之后，在压过的地方就留下一组压痕。使样品在垂直于探针排列直线的方向上移动一个很小的距离，再同样的压出第二组压痕。

2、把压过的样品放在测距显微镜中测量。在测距显微镜中，可以看到每组压痕如图1-16，使两根外探针压痕的相同位置在Y轴方向上读数之差不大于0.15mm，测量A到H的X轴位置，对十组压痕都作同样的测量。

3、计算10组压痕中每组的三个探针间距 S1j、S2j、S3j，j=1,2,……，10；

S1j=[(Cj+Dj)/2]-[(Aj+Bj)/2]
S2j=[(Ej+Fj)/2]-[(Cj+Dj)/2]
S3j=[(Gj+Hj)/2]-[(Ej+Fj)/2]

4、计算三个探针间距的平均值Sj 和标准偏差 Si，i=1,2,3;