多晶硅铸锭过程自动化程度较高，但它也是间歇性生产过程，所有的工艺参数随时都要根据实际生产情况进行调整。铸锭工程师的经验会影响一锅料的好坏，对生产成本影响也很大。

以下我们采集了多晶硅铸锭工程师常见的一些突发情况和问题解决方法，供参考。

1. 多晶硅1.DSS450多晶铸锭炉SPILL报警后如何处理？

答：当发现报警后我们可以根据当前的阶段判断是否直接紧急冷却。当前阶段若存在硅液应立即紧急冷却，若不存在硅液则为假报警，一般为模块或线路故障，但DSS炉同样会5秒后进入E-cool，此时我们可以连接上加热器，将E-cool步骤的参数修改成当前步骤的参数，保证DSS炉温度不降，等电工修复后再跳回运行的时的步骤。

2.长晶阶段长晶速率过慢可以通过那些措施调整？请用示意图描述正常长晶曲线。

答：长晶阶段速率过慢一般有以下措施：1）逐步提高offset（降低配方温度）；2）提高隔热笼高度；3）还可以结合提高offset（降低配方温度）和提高隔热笼位置。

3.简述DSS450多晶铸锭炉F1到F8各自冷却的部位和报警值及紧急报警值。

答：

冷却位置报警值紧急值

F1~F3三组加热电极75

F4上炉腔上部和顶盖75

F5上炉腔主腔室75

F6下炉腔上部2015

F7下炉腔下部2015

F8真空泵和出气管道42

4. 多晶铸锭炉TC1失效后如何处理？

答：TC1失效，温度显示超过1575引发120秒断电倒计时。

一般TC1失效不会引发断电，处理是先尝试复位，复位无效后选择好对应配方的功率曲线引用即可，但TC1失效后温度显示高于1575会引发最大温度紧急报警，此时若不立即处理120秒后DSS炉会自动切断电源。我们可以在这120秒内立即拔出TC1外部接头进行短接或立即引用功率曲线运行，DSS炉会停止倒计时。

5.如何判断中心长晶和边角长晶结束？

答：中心长晶触发报警值pyrometerslopetrigger》6，在曲线图像上能清楚地看到高温曲线上升，并在meltandgrowthendscreen上也能看到高温曲线上升，另外在炉盖上观察窗，查看是否中心长晶结束再决定是否延时，及延时的时间。而边角长晶报警在曲线上能看到功率曲线有明显的上升，并在meltandgrowthendscreen也能看到功率曲线上升，一般情况，上升后平稳就可以结束边角长晶。

6.多晶铸锭炉在装料前，需要做哪几项检查？

答：1：确定有无报警，2：检查水流是否偏低。3，检查真空泵是否缺油。4检查加热进区：螺栓是否松动，六个电极是否正常，有无烧坏，溢流线和溢流棉是否完好，TC2氧化锆管是否开裂，加热区是否清洁等，5，recipe和主参数值是否对应正确