光谱椭偏仪 SpecEL-2000-VIS SpecEL-2000-VIS from微派克 (Mikropack) 是一款操作便捷的台式光谱椭偏仪，主要应用于薄膜测量。它具有经济实用、小巧、便利和拥有便捷的样品支架以及一键化操作等特点。SpecEL-2000-VIS适用于测量平整和半透明的样品，例如晶圆和玻璃片。 光谱椭偏仪测量光的相位和振幅的相对变化而不是传统的绝对光强(反射测量法)。因此这项技术不同于参考测量法，可以同时得到多重参数。高速测量保证系统可以在5－15秒内得到样品厚度，同时也可得到反射系数(n)和吸收率(k)与波长(450-900nm)之间的函数。 SpecEL-2000仅有标准椭偏仪价格的一半，却包括了一个集成的宽光谱光源，导光器件，起偏器，样品台，检偏器，增强光学元件和微型线阵列CCD光谱仪。整个系统的外形尺寸仅有52×33×24cm，入射光的角度固定在70度。 对于不同的层状和衬底样品，SpecEL可以测量的层厚在0.1nm到8um之间，精度达到1nm。随系统还有一套以32位的Windows平台操作软件，它具有强大的功能并能提供各种模型，例如Cauchy，OJL，Tauc-Lorentz，Drude，EMA和不同的振荡器。这套软件同时存储了特定的测试模式，减少了烦琐的反复测量和重复工作。 可以选择高分辨率的组件，将照射到样品上的光斑尺寸从2×4mm缩小到200×400um。还有其他可以选择的组件，例如2维绘图附件，参照晶圆和各种按需定制的解决方案。 可以精确测量折射指数、消光系数（n & K)，膜厚等，广泛适用于半导体、电介质、聚合物、金属等材料，单层薄膜和多层膜。 光谱椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构特性的光学测量设备。可测的样品包括大块材料、薄膜以及在平面基底上生长或沉积的多层结构。多层固体、液体、与固体相邻的液体以及与固体接触的气相等离子体的特性等都可以用这一技术来探测。由于与样品非接触，对样品没有破坏并且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的探测设备。 技术参数 膜厚范围：0-30000nm 折射指数：± 0.0001 厚度准确度：± 0.01nm 入射角度：20 - 90° 波长范围：250-1100nm（深紫外、近红外、红外可选） Psi=±0.01°，Delta=±0.02° 主要特点 高精度测量； 变角度功能； 全光谱测量； 关于微派克 成立于1995年的德国微派克(Mikropack GmbH)公司，是欧洲领先的仪器以及设备的生产商和供应商。产品主要是用于生物科技，光谱，通信和薄膜应用等方面的光纤和电子机械元件。光纤光谱产品线包括光源，光测量和校准系统。微排克同时还致力于生产用于薄膜测量的产品，如NanoCalc-2000(光谱反射测量仪)，SpecEl-2000(光谱椭偏仪)和PlacCala-2000与ProCess-2000(等离子监测，过程控制系统) 。微派克是英国豪迈国际有限公司的子公司。 |
