| 此次实验是在传统工艺基础上增加背抛光工艺(图2.B所示)。 2 背抛光试验内容 参考到实际工艺应用的经验，试验过程使用5%wtNaOH和5%wtKOH作为腐蚀液，对硅片背表面进行抛光，考察了反应时间、温度以及两种溶液的效果差异，最终优选5%KOH作为腐蚀所用溶液观察最终性能。 2.1 研究不同溶液对反射率和电池性能的影响 首先，我们对两种溶液的腐蚀差异做了一个简单的考查：分别在室温条件下，利用5%wtNaOH和5%wtKOH对硅片腐蚀3min和10min，测定腐蚀后的硅片表面反射率以及制作成电池后的电学性能。
可以发现在相同腐蚀时间下，KOH腐蚀速率相对缓慢，硅片表现相对更平坦，表现出比NaOH更高的反射率水平。
仅分析3min条件下，两种溶液处理过的硅片制作成电池的电池性能参数(表1所示)，KOH表现更优越，开路电压提升2mV左右，短路电流Isc提升约30mA，转换效率Eta提升约0.11%，所以后续的试验都在5%wtKOH的条件下进行。 |
