测试样品的光谱，测试样品放入红外光路获得的扣除背景光谱后的光谱。

       3.5 分辨率resolution 

       分辨两条相邻谱线的能力，红外光谱的分辨率用波数cm-1表示，即分辨率的单位是cm-1。

       3.6 半高宽fullwidthathalfmaximum（FWHM）

       峰高一半处的吸收带宽度。

       四、硅中氧和碳

       故直拉单晶硅中头部的氧浓度比较高，尾部的氧浓度比较低；碳的分凝系数是0.07，一次头部碳浓度第，而尾部碳浓度高。 

       硅中氧浓度的测量方法主要有四种。第一种，气象熔化分析（GFA），这种方法主要是用来测量重掺单晶中的整体氧浓度。第二种，带电粒子活化分析（CPAA），这种方法也是测量硅中总的氧浓度，但测试步骤繁杂，费用昂贵。第三种，二次离子质谱法（SIMS），这种方法能测量硅（包括重掺片）种所有形态氧的总含量，但是测试精度比较低，一般在1015cm-3数量级。第四种，傅里叶红外光谱（FTIR），这种方法属于无损探测的方法，试样制备比较简单，用傅里叶红外光谱法测得的氧、碳含量不是硅单晶中的总氧和总碳的含量，测得是晶格中的间隙氧，和晶格中的替位碳。

表2 室温下（20℃）氧原子在硅晶体中的一系列特征红外吸收峰

图1直拉硅和区熔硅的室温红外光谱图以及差谱处理后的谱线

       碳的存在会使硅器件的击穿电压大大降低，漏电流增加，对器件的质量有负面的作用。硅中的碳杂质主要处于替位位置，属于非电活性杂质，和替位碳想了联系的红外吸收峰在室温下位于605cm-1处，一般，使用FTIR测量碳浓度的有效范围是5×1015~3×1018cm-1。 

       计算公式为：

       式中，C为转换系数（cm-2），通常采用的是1.0，α为最大红外吸收系数。

       五、傅里叶变换红外光谱仪使用说明 

       1、接通电源，预热仪器30min，仪器30min以后方可使用。

       2、打开红外光谱软件，选择本底测试（AQBK），扫描环境（包括仪器内部各种零部件和氮 气、二氧化碳、空气等信息）。 

       3、扫描完本底后，将参考片（区熔硅片2mm厚），选择透过率测试（AQSA），扫描参考片 的信息。 

       4、将参考片换为事先准备的样品（2mm厚），选择透过率测试（AQSA），扫描参考片的信 息。 

       5、光谱扫描完后，选择氧碳含量的计算软件。输入样品名称、样品厚度（单位cm，精确 至0.001cm）及其他信息。 

       6、氧碳软件，会计算间隙氧和替位碳的含量。

       7、记录数据，并打印报告

       六、红外光谱仪的保养和维护 

       实践证明，只要使用得当，傅里叶变换红外光谱仪用上十几年，仪器的分辨率和信噪比没有明显的下降。 

       1、使用环境：温度：17~27℃，相对湿度最好低于为60%。 

       2、开机30min后可以测试样品，主要是预热光源，下班前最好关机。 

       3、仪器长期不适用，仪器很容易损坏。特别是夏天，空气湿度太大，每个星期至少给仪器通电几个小时，赶掉仪器内部各部件的潮气。 

       4、观察干燥剂颜色，当硅胶颜色由蓝色变为粉色时，把干燥剂放入烘箱中烘烤，温度为105~120℃，放入样品仓之前应冷却至室温。 

       5、保存样品数据，过一段时间应将数据刻录到光盘上，建议一个月刻录一张光盘。

       6、新仪器使用两三年后，应进行自检，检测内容包括：仪器的信噪比、最高分辨率、标准聚苯乙烯薄膜光谱数据的重复性和数据的精度、100%线的倾斜度等。