| 硅(100) 晶面原子在NaOH 腐蚀过程中出现的状态示意图(图1)
首先, 我们根据反应的过程看图1 中八种微观状态之间的转换.相应于图1 中八种不同的状态, 就反应中各个状态之间可能的转换示于图2 中. 其中, 有的状态在反应条件不确定的情况下, 受各种因素的影响, 有可能有多种形式状态的转化. 硅(100) 晶面原子在腐蚀过程中各微观状态之间转化关系(图2)
IPA的作用 IPA 1)增加硅片表面的可湿润性 2)碱溶液对硅片的腐蚀速率随着IPA浓度的增加而降低 3)适当浓度发IPA在溶液中起到消泡的作用 我可以从碱腐蚀硅的化学原理可知,伴随腐蚀的进行,硅表面有气泡产生,气泡的尺寸与溶液的粘度,溶液的表面张力有关,气泡的大小和在硅片表面的附着时间,的表面反应的进行乃至腐蚀形成的表面形貌有直接音响. 谈到气泡的大小我们就必须谈到接触角(润湿角) 接触角定义为液—固—气界面相交点,液—气界面的切线与液—固界面切线的夹角. CosØ =(δg-s –δl-s)/δg-l
图.液体与固体表面的接触角 定温定压平衡时液体在固体表面的接触角决定于固—气相、固—液相和液—气相三个界面张力的大小关系。θ＜90°时，液体润湿固体表面良好，θ＞90°时，液体润湿固体表面不好，θ=180°时，完全不润湿。纯净的硅表面是不能与水润湿的（疏水的）。实验中观察到，对于氢氧化钠水溶液，它和硅表面的润湿角θ＞90°并与溶液浓度有关。溶液中加入异丙醇（或乙醇）可以改善润湿程度，在这里，起到表面活性剂的作用。 液体在固体表面上铺展的趋势大小决定于三个相的界面张力值。铺展系数定义为： Φl/s=δg-s –δg-l –δl-s 定温定压下，液体在固体表面铺展（润湿）并达到平衡时，铺展系数越大，润湿程度越高。 腐蚀过程中气泡在硅片表面的演变方式决定了绒面角锥体的形成，变化和最终形貌。在润湿良好的表面上，一种腐蚀形成绒面的气泡模型如图所示。
图3. 液体表面张力对腐蚀气泡和角锥体尺寸的影响,表面张力(a)<（b） |
